单片晶圆气液混合流清洗技术研究
刘佰红,杨炜平,梁 翔,杨丽丽,2,杜浩楠,保加兵,石春明,马跃霞,殷艳娥,段 瑜,2
〈材料与器件〉
单片晶圆气液混合流清洗技术研究
刘佰红1,杨炜平1,梁 翔1,杨丽丽1,2,杜浩楠1,保加兵1,石春明1,马跃霞1,殷艳娥1,段 瑜1,2
(1. 云南北方奥雷德光电科技股份有限公司,云南 昆明 650223;
2. 昆明物理研究所,云南 昆明 650223)
研究了气液混合流清洗方法对单片晶圆表面颗粒的去除效果,引入无量纲参数移径比(/)讨论其对单片晶圆表面颗粒去除效率的影响。此外,还讨论了冲洗时间、冲洗压力对颗粒去除效率的影响。结果表明:晶圆表面颗粒去除效率随着冲洗时间、冲洗压力的增大而提高。移径比为1时晶圆表面颗粒去除效率最高;
当移径比小于1时,晶圆表面颗粒去除效率随移径比增大而提高;
当移径比大于1时,晶圆表面开始出现未被冲洗的区域,颗粒去除效率随移径比增大而迅速降低。采用气液混合流清洗技术,可以实现颗粒直径为0.2~0.3mm范围的颗粒去除效率达99%以上,颗粒直径为0.1~0.5mm范围的颗粒去除效率达96%以上。
气液混合流清洗;
冲洗时间;
移径比;
冲洗压力;
颗粒去除效率
近年来随着IC集成度的提高、线宽的不断缩小,CMP(chemical mechanical planarization)工艺之后需要对单片晶圆表面亚微米及纳米级别尺寸的颗粒进行去除[1-2]。目前,常用的颗粒去除技术有:标准RCA清洗法、兆声波清洗法、搽洗法、汽相清洗法、等离子体清洗法等。标准RCA清洗法采用NH3H2O:H2O2:H2O=1:1:5的混合液,以氧化和微蚀刻去除表面颗粒,也可轻微去除金属离子和有机物污染[3-4]。兆声波清洗法是利用频率为0.8~1.0MHz的超声波进行清洗,兆声可以在基片表面产生一层薄的声学边界层[5-6],高频的声波能够在液体中产生空化和声波流的现象,利用空化气泡崩溃瞬间产生的微射流和声波流的冲击力清除基片表面的微小颗粒,一般兆声清洗适于清除的颗粒大小为0.1~0.3mm[7],搽洗法采用刷子刷洗晶片表面,同时伴随着清洗液的冲洗,是一种古老且有效的微粒去除方法[8]。为了减少化学液清洗过程中化学液的消耗量,采用将化学液汽化后作用于硅片表面污染物从而去除金属离子(粒子)、颗粒等污染物的一种方法,简称汽相清洗法[9]。相比于以上清洗方式,气液混合流清洗方法具有颗粒去除效率高,清除颗粒尺寸更小的优点,能够去除颗粒直径在40nm以上的颗粒,且具有很好的结构损伤控制性[10]。该技术于1997年提出运用于半导体清洗领域[11],之后取得了较大的进展。为了提高颗粒清洗效率,降低晶圆表面图形损伤,主要从以下两个方面进行改进:一方面向清洗液中添加化学液,提高清洗液的导电性,降低颗粒静电吸附力,提高颗粒去除效率。Hirano H.等人[12]通过添加稀释的HF,实现较低的氮气流速下仍能有效去除表面颗粒,且短时间的清洗不会造成45nm栅极结构损伤。Li J.等人[13]采用双喷嘴设计,可同时向晶圆表面喷射气液混合流和RCA清洗液,使其运用在FinFET(Fin Field-Effect Transistor)工艺生产中,可以有效减少表面颗粒26%,且不会造成LDD栅极结构损伤。另一方面则通过优化喷嘴设计,改善喷雾特性提高清洗效果。Lu W.等人[14]通过改善气液掺混的雾化效果,保证图形结构无损伤的前提下,获得更高的N2流量,对35nm及以上尺寸的颗粒去除效率达90%以上。Tanaka T.等人[15],通过精确控制喷射液滴的大小和速度,在没有任何图形结构损坏的情况下获得更高的颗粒去除效率。Teng Y.等人[16]采用自主设计的气液混合流清洗装置,实现100nm以上颗粒去除效率90%以上,对50nm以上的图形结构无损伤,清洗效果及损伤控制明显优于兆声清洗。近年来,随着技术的不断成熟,气液混合流清洗技术开始逐渐运用于半导体清洗工艺领域。
目前,通过向气液混合清洗液中掺混HF或RCA化学液,虽然有助于提高颗粒去除效率,然而长时间清洗势必会造成图形腐蚀[17]。单纯的纯水、N2混合流冲洗,由于其超高的电阻率,难以去除晶圆表面的静电电压[18]。为此,本文尝试向纯水中混入一定比例的CO2,既有效避免了HF或RCA化学液较强的腐蚀性,又大幅降低了清洗液的电阻,消除晶圆表面带电现象[19-20]。实验过程中还通过精确控制CO2、H2O和N2的混合比例及混合液流速、压力,优化喷雾特性,提高晶圆表面冲洗能量的均匀性。此外,目前气液混合流清洗的研究主要集中在工艺技术的改进,然而清洗过程中不合理的工艺参数设定,也在很大程度上影响颗粒清洗效率的提升。因此,优化工艺参数对清洗效率的提升也同样重要。为此,本文构建清洗模型,将晶圆转速、喷头摆动角速度、喷射水柱直径、冲洗手臂长度等主要影响因素进行无量纲化,得到无量纲参数移径比,讨论其对单片晶圆表面颗粒去除效率的影响,此外,还讨论了冲洗时间、冲洗压力对颗粒去除效率的影响。
去除晶圆表面颗粒的方式有滑动、滚动和分离,当颗粒侧面受到气体或液体冲击力的作用下,颗粒在晶圆表面出现滑动或滚动从而被去除。在气液混合流清洗过程中,气体与液体在喷射器内掺混,喷出高速的雾状微小液滴飞速撞击在硅片表面,从而在硅片表面形成10~100mm厚度的液膜[21]。当液滴撞击硅片液膜表面时,在液滴前端与液膜接触面产生瞬间高压,从而在液滴与液膜接触面前端形成冲击波,其冲击波压力[22]的表达式为:
式中:为液体密度,kg×m-3;
为液滴撞击速度,m×s-1;
为液滴直径,m;
为液体介质中的声速,m×s-1;
pool液膜厚度,m;
其中冲击波速近似为:
=0+(2)
式中:0在水中的速度为1647m×s-1;
比例因子近似等于2。
之后撞击区域的液体向四周飞溅,形成形似皇冠的形状。扩散半径随时间变化的表达式[23]为:
根据式(3)皇冠半径扩散速度可以推导出扩散区域液体的压力为:
因此,受到液滴撞击的流体区域会产生较大的压力差,形成一层薄的速度边界层,边界层厚度受液滴的尺寸、速度以及液膜厚度的影响。减小边界层的厚度可以向颗粒传递更多的流体力,颗粒受到的流体力分为拉力和升力[24],其拉力drag和升力lift的表达式为:
drag=3p(f-p) (5)
lift=0.807(f-p)1/233/2(6)
式中:为液体粘度系数,Pa×s;
f为颗粒中心的流体速度,m×s-1;
p为颗粒速度,m×s-1;
为剪切速率,s-1。
实验选用直径为200mm的单硅晶片,在其表面污染直径0.1~0.5mm粉尘颗粒2000个左右,然后采用颗粒检测仪对其表面颗粒进行统计得出清洗前颗粒数量。之后采用气液混合流清洗装置对单片晶圆表面进行清洗。图1为气液混合流清洗方式示意图。冲洗喷头以旋转半径为、角速度为1、摆动角度范围为运动方式,从晶圆一侧边缘经过晶圆圆心摆动到晶圆另一侧边缘并以此往复运动。晶圆旋转角速度为2,冲洗喷头喷在晶圆表面的气液混合流水柱直径为。恒定流量的CO2、纯水混合液与高压氮气在喷头喷射器内均匀掺混后以高速均匀的微小液滴喷出,通过控制氮气压力控制冲洗压力。经过气液混合流清洗后对晶圆表面颗粒进行测试统计,得出清洗后的颗粒数量。从而得出颗粒直径0.1~0.5mm范围的晶圆表面颗粒去除效率。
图1 气液混合流清洗示意图
为了方便讨论气液混合流清洗方法对颗粒去除效率的影响,引入以下几个参数:
设冲洗过程中,冲洗喷头从晶圆一侧边缘匀速摆动到晶圆另一侧边缘所用的时间用表示:
=/1(7)
式中:为冲洗喷头冲洗过程中的摆动角度范围,rad;
1为冲洗喷头的摆动角速度,rad×s-1(本文将冲洗喷头的摆动角速度设定为常量,即不考虑1的变化对颗粒去除效率的影响且实验中冲洗喷头摆动角速度1与晶圆旋转角速度2的比值12<0.05)。
在晶圆旋转一周的时间里,冲洗喷头位移为:
式中:2为晶圆旋转角速度,rad×s-1;
为冲洗喷头的摆动半径,m。
晶圆旋转一周的时间里,冲洗喷头位移与冲洗喷头喷在晶圆表面水柱直径的比值定义为移径比:
通过分析移径比可以得出晶圆旋转一周时间内冲洗喷头喷出的水柱在晶圆表面扫过的面积与下一次晶圆旋转一周时间内水柱在晶圆表面扫过的面积重叠率:
=1-/(10)
当移径比/>1时,面积重叠率为负值,表示冲洗时间/2内,晶圆表面存在1-/区域面积没有被水柱冲洗到。移径比为1时表示晶圆表面全部被水柱冲洗到。
当移径比1/2</<1时,面积重叠率为正值,表示冲洗时间/2内,晶圆表面存在/-1区域面积被水柱重复冲洗。
当移径比/<1/2时,面积重叠率为正值,表示冲洗时间/2内,晶圆表面被重复冲洗/次。当移径比为1/2时,表示晶圆表面被重复冲洗2次。
在讨论气液混合流清洗方法对颗粒去除效率的影响时,本文分别从冲洗时间(=1,2,3,4)、移径比(0.2、0.5、1、2)、冲洗压力(20Psi、30Psi、40Psi、50Psi)等3个方面因素讨论对颗粒去除效率的影响。实验样品及样品实验条件如表1所示。图2为具有代表性样品e清洗前后通过颗粒测试仪测得的晶圆表面颗粒分布情况。
表1 样品实验条件
本文将讨论冲洗时间(=1,2,3,4)、移径比(0.2、0.5、1、2)、冲洗压力(20Psi、30Psi、40Psi、50Psi)等3个方面因素对颗粒去除效率的影响。
当冲洗压力为40Psi、移径比为0.2时,冲洗时间从1增加到4时,冲洗时间对晶圆表面颗粒去除效率的影响如图3所示,从图中可以看到晶圆表面颗粒去除效率随着冲洗时间的增加而提高,通过增加冲洗时间可以提高颗粒去除效率14%。当冲洗时间从1增加到3时颗粒去除效率从78%提高到89%,提高了11%;
当冲洗时间从3增加到4,颗粒去除效率为92%,提高了3%,说明继续增加冲洗时间对颗粒去除效率的提升效果越来越小。这是由于冲洗时间较短时,晶圆表面冲洗能量分布不均匀,出现一些区域冲洗时间较短、冲洗能量较低,造成颗粒去除效率低。随着冲洗时间的增加,冲洗能量的积累,这部分区域的颗粒去除效率随之提高,进而整片晶圆的颗粒去除效率得到提高。经过一段时间的冲洗后,由于残留的颗粒与晶圆表面的相互作用力较大,需要更大的冲洗力度才能去除,因此,仅提高冲洗时间对于颗粒去取效率的提升越来越小。
图3 清洗时间对颗粒去除效率的影响
当冲洗压力为40Psi,冲洗时间为4时,移径比从0.2增大到2时,移径比对晶圆表面颗粒去除效率的影响如图4所示。从图中可以看出移径比小于1时,颗粒去除效率随着移径比的增大而提高。移径比从0.2增大到0.5时颗粒去除效率从92.2%提高到96.1%,提高了3.9%。当移径比从0.5增大到1时,颗粒去除效率提高到96.5%,颗粒去除效率达到最高。这是由于当移径比小于1时,由式(10)可知移径比越小则表示相同的冲洗时间里晶圆表面被重复冲洗的次数越多,则冲洗喷头相对晶圆表面的移动速度越高,冲洗喷头划过晶圆表面颗粒的时间越短,颗粒受到冲洗的能量积累越小,则颗粒被剥离掉的可能性越低。随着移径比的增大,冲洗喷头划过晶圆表面颗粒的时间越长,则受到冲洗的能量积累越大,从而颗粒被剥离掉的可能性就越高。因此,相同的冲洗时间里,提高晶圆表面的冲洗次数不利于颗粒去除效率的提高,降低冲洗喷头相对晶圆表面的移动速度可以有效提高颗粒去除效率。当移径比从1继续增大到2时,颗粒去除效率迅速下降到85%。这是由于当移径比大于1后,晶圆表面存在一部分区域面积没有被水柱冲洗到,这部分区域的颗粒将停留在晶圆表面造成颗粒去除效率的迅速降低。
图4 移径比对颗粒去除效率的影响
当冲洗时间为4时,移径比为0.2,冲洗压力从20Psi增大到40Psi时,冲洗压力对晶圆表面颗粒去除效率的影响如图5所示,从图中可以看到增大冲洗压力可以有效提高晶圆表面的颗粒去除效率,当冲洗压力从20Psi增加到40Psi时,颗粒去除效率从75%提高到92.3%,提高17%,当冲洗压力从40Psi增加到50Psi时,颗粒去除效率只提高1.7%,提升效果不明显。因而,继续增加冲洗压力对颗粒去除效率的提升效果将越来越小。这是由于随着冲洗压力的提高,喷射液滴的动能增大,作用于颗粒表面的流体力增大,则颗粒被剥离掉的可能性提高,颗粒去除效率随之增大。
图5 冲洗压力对颗粒去除效率的影响
当冲洗时间为4时,移径比为1,冲洗压力为40Psi时,测得不同颗粒直径的颗粒去除效率如图6所示。测得颗粒直径0.1~0.5mm范围的颗粒去除效率96.5%。颗粒直径从0.1mm增大到0.5mm时,颗粒去除效率先增大后降低,当颗粒直径为0.1~0.15mm范围时,颗粒去除效率最低,为95%。当颗粒直径为0.25~0.3mm范围时,颗粒去除效率最高,可以达到99.4%。这是由于随着颗粒尺寸的缩小,虽然较小的颗粒与固体表面的相互作用力较小,但由于难以向其传递有效的流体力,因此更难去除。而后,随着颗粒尺寸的增大,其与固体表面的相互作用力增大,但由于冲洗强度不变的条件下,颗粒受到的流体力难以克服其与固体表面的相互作用力,因此,随着颗粒尺寸的增大变得难以去除。
图6 不同粒径颗粒去除效率
通过讨论冲洗时间、移径比、冲洗压力等3方面因素对颗粒去除效率的影响。可以得出以下结论:
对比相同的移径比、冲洗压力条件下冲洗时间对颗粒去除效率的影响。可以得出颗粒去除效率随着冲洗时间的增加而提高,当冲洗时间大于3时继续增加冲洗时间对颗粒去除效率的提升效果越来越小。通过增加冲洗时间可以提高颗粒去除效率14%。
对比相同的冲洗时间、冲洗压力条件下移径比对颗粒去除效率的影响。结果表明,移径比接近1时颗粒去除效率最高,为96.5%。当移径比小于1时,颗粒去除效率随着移径比的增大而提高。表明在相同的冲洗时间里,提高晶圆表面的冲洗次数不利于颗粒去除效率的提高,降低冲洗喷头相对晶圆表面的移动速度可以有效提高颗粒去除效率。当移径比大于1时,晶圆表面开始出现未被冲洗的区域,使得颗粒去除效率迅速降低。
对比相同的冲洗时间、移径比条件下冲洗压力对颗粒去除效率的影响。结果表明,提高冲洗压力可以有效提高颗粒去除效率,当冲洗压力从20Psi增加到40Psi时,颗粒去除效率从75%提高到92.3%,提高了17.3%;
随后继续提高冲洗压力对颗粒去除效率的提升效果越来越不明显。
采用气液混合流清洗方式,颗粒直径为0.2~0.3mm范围,颗粒去除效率99%以上。颗粒直径为0.1~0.5mm范围,颗粒去除效率96%以上。
[1] 胡雅倩. 硅片清洗技术及发展[J]. 天津科技, 2019, 46(6): 66-67.
HU Yaqian. Silicon wafer cleaning technology and its development[J]., 2019, 46(6): 66-67.
[2] 李仁. 兆声清洗技术分析及应用[J]. 电子工业专用设备, 2004(1): 63-66.
LI Ren. Megasonic cleaning technology analysis and application[J]., 2004(1): 63-66.
[3] 储佳, 马向阳, 杨德仁, 等. 硅片清洗研究进展[J]. 半导体技术, 2001(3): 17-19, 34.
CHU Jia, MA Xiangyang, YANG Deren, et al. Silicon wafer cleaning[J]., 2001(3): 17-19, 34.
[4] 曹秀芳, 姚立新, 祝福生, 等. 硅片湿法清洗工艺技术及设备发展趋势[J]. 电子工业专用设备, 2011, 40(4): 9-13, 28.
CAO Xiufang, YAO Lixin, ZHU Fusheng, et al. Wafer surface wet chemistry rinse technics and equipment making technology[J]., 2011, 40(4): 9-13, 28.
[5] 王宇, 蔡亚梅, 滕霖. 超光滑表面清洗技术现状及发展趋势[J]. 航空精密制造技术, 2003(2): 1-4, 9.
WANG Yu, CAI Yamei, TENG Lin, Status and trends of cleaning technology for super polished surfaces[J]., 2003(2): 1-4, 9.
[6] WU Y, Franklin C, Bran M, et al. Acoustic property characterization of a single wafer megasonic cleaner[J]., 1999(9): 177.
[7] 史霄, 郭春华, 杨师, 等. CMP设备兆声清洗原理及应用[J]. 电子工业专用设备, 2015, 44(11): 32-35.
SHI Xiao, GUO Chunhua, YANG Shi, et al. The megasonic cleaning theory and its application in the post CMP cleaning[J]., 2015, 44(11): 32-35.
[8] 张伟锋, 周国安, 詹阳. CMP后的晶圆清洗过程研究[J]. 电子工业专用设备, 2008(6): 28-32.
ZHANG Weifeng, ZHOU Guoan, ZHAN Yang. Study on post-CMP clean process[J]., 2008(6): 28-32.
[9] 刘传军, 赵权, 刘春香, 等. 硅片清洗原理与方法综述[J]. 半导体情报, 2000, 37(2): 30-36.
LIU Chuanjun, ZHAO Quan, LIU Chunxiang, et al. Theory and method of silicon wafer cleaning[J]., 2000, 37(2): 30-36.
[10] 李相鑫, 杨慧毓, 李渊, 等. 无损伤气液两相雾化清洗系统研发[J]. 电子测试, 2019, 24: 98-99.
LI Xiangxin, YANG Huiyu, LI Yuan, et al. Study of the damage free dual-fluid spray cleaning nozzle and cleaning method[J]., 2019, 24: 98-99.
[11] Kanno I. Wafer cleaning by water and gas mixture with high velocity[J].,1997, 35: 54-61.
[12] Hirano H, Sato K, Osaka T, et al. Damage-free ultradiluted HF/nitrogen jet spray cleaning for particle removal with minimal silicon and oxide loss[J]., 2006, 9(2): 62-65.
[13] LI J, Sih V, ZHAN H. Advanced wet clean technology at lightly doped drain layers in FinFET[J]., 2016, 75(5): 185-190.
[14] LU W, XIE B, LI Z F. An innovative jet spray for better particle removal efficiency in single wafer damage-free cleans for 65nm node and beyond[C]//, 2007, 18: 1042.
[15] Tanaka T, Sato M, Kobayashi M, et al. Development of a novel advanced spray technology based on investigation of droplet energy and pattern damage[C]//,Trans Tech Publications Ltd, 2012, 187: 153-156.
[16] TENG Y, CUI H, HEX, et al. Damage free removal of nano-particles with dual-fluid spray nozzle cleaning[C]//(CSTIC), 2016: 1-3.
[17] 李仁. 半导体IC清洗技术[J]. 半导体技术, 2003(9): 44-47.
LI Ren.Semi-conductor IC cleaning technology[J]., 2003(9): 44-47.
[18] 伏国秀, 刘定斌, 乔友学. 晶圆清洗过程中静电电压超标原因与改进[J]. 电子与封装, 2012, 12(4): 31-33, 37.
FU Guoxiu, LIU Dingbin, QIAO Youxue. The causes and improvement of exceeding the standard electrostatic potential in wafer cleaning process after sawing[J]., 2012, 12(4): 31-33, 37.
[19] 张瑜, 卞玉洋. 光刻工艺中硅片表面静电现象研究[J]. 功能材料与器件学报, 2020, 26(4): 290-299.
ZHANG Yu, BIAN Yuyang. Investigation of wafer surface static electricity in lithography process[J]., 2020, 26(4): 290-299.
[20] Light T S, Kingman B, Bevilacqua A C. The conductivity of low concentrations of CO2dissolved in ultrapure water from 0-100℃[C]//2091995: 2-6.
[21] Kalantari D, Tropea C. Phase doppler measurements of spray impact onto rigid walls[J]., 2007, 43: 285-296.
[22] Wostyn K, Wada M, Sano K I, et al. Spray systems for cleaning during semiconductor manufacturing[C/OL]//22, 2008: https://www. semanticscholar.org/paper/SPRAY-SYSTEMS-FOR-CLEANING-DURING-SEMICONDUCTOR-Wostyn-Wada/590875d2408ceb18b 97969233 db526e62205a1a7.
[23] Yarin A L, Weiss D A. Impact of drops on solid surfaces: self-similar capillary waves, and splashing as a new type of kinematic discontinuity[J].1995, 283: 141-173.
[24] SUN Z, HAN R. Numerical studies on nano-particle removal with micro-droplet spray[C]// 1, 2006: 303-305.
Study on Dual-Fluid Spray Cleaning Technique for Single-wafer Particle Removal
LIU Baihong1,YANG Weiping1,LIANG Xiang1,YANG Lili1,2,DU Haonan1,BAO Jiabing1,SHI Chunming1,MA Yuexia1,YIN Yane1,DUAN Yu1,2
(1.,,650223,;2.,650223,)
The particle removal efficiency (PRE) of single-wafer substrates using dual-fluid spray-cleaning technology was investigated. The ratio displacement-diameter(/), which is dimensionless, is introduced to discuss the effect of PRE on a single-wafer surface. In addition, the effects of spray time and nozzle injection pressure on PRE are discussed. The results show that increasing the spray time and nozzle injection pressure can increase PRE. The highest PRE occurred when the displacement-diameter ratio was close to 1. When the ratio was less than 1, the PRE increased with an increase in the displacement–diameter ratio. When the ratio was greater than 1, the partial area of the wafer surface was not washed, and the PRE decreased rapidly with an increase in the ratio. The dual-fluid spray-cleaning method can achieve more than 99% PRE for particle sizes between 0.2mm and 0.3mm and more than 96% PRE for particle sizes between 0.1mm and 0.5mm.
dual-fluid spray cleaning, spray time, displacement-diameter ratio, injection pressure, particle removal efficiency
TN307.5
文章编号:1001-8891(2022)12-1332-06
2021-10-26;
2021-11-23.
刘佰红(1989-),男,硕士,主要从事OLED器件制造工艺。E-mail:381944996@qq.com。
猜你喜欢 晶圆气液冲洗 半导体制造领域的晶圆预对准系统综述科学与信息化(2023年1期)2023-01-31缓存区工位和调度系统在CMP设备中的应用电子工业专用设备(2022年5期)2022-12-30运载火箭气液组合连接器动态自动对接技术北京航空航天大学学报(2021年9期)2021-11-02鼻腔需要冲洗吗?中老年保健(2021年11期)2021-08-22微重力下两相控温型储液器内气液界面仿真分析北京航空航天大学学报(2021年6期)2021-07-20报告:中国大陆晶圆产能今年或超日本环球时报(2021-07-16)2021-07-16一种阴道冲洗装置的设计与应用中国临床护理(2020年5期)2020-10-09气液分离罐液位计接管泄漏分析中国特种设备安全(2019年9期)2019-12-03Notice of the 6th International Academic Conference on Sleep Medicine & Reelection of the Third Board of Directors of Sleep Medicine Specialty Committee,WFCMS世界睡眠医学杂志(2019年3期)2019-04-26基于新型C4D的小管道气液两相流流型辨识方法北京航空航天大学学报(2017年11期)2017-04-23- 范文大全
- 说说大全
- 学习资料
- 语录
- 生肖
- 解梦
- 十二星座
-
主题党日活动交流发言8篇
主题党日活动交流发言8篇主题党日活动交流发言篇13月13日,东城区党史学习教育动员大会召开。市委
【活动总结】 日期:2022-12-23
-
2022年4月主题党日活动记录范文15篇
2022年4月主题党日活动记录范文15篇2022年4月主题党日活动记录范文篇1一个崇尚阅读的民族,必然精神饱满、意气风发、活力四射。习近平总书记强调:“学习
【活动总结】 日期:2022-08-01
-
少先队的光荣历史故事 队前教育-光辉历程
2017-2018学年队前教育1光辉历程一、劳动童子团1924——1927二、三十年代年的中国是一个
【法律文书】 日期:2020-06-23
-
家乡赋|最美的家乡赋
家乡赋 孙传志 今安康市,白河双丰镇,吾之家乡也。三环沃土,山水环抱。其北依山,山系五岭,山
【调研报告】 日期:2020-04-01
-
【人教版1-6年级数学上册知识点精编】1-6年级数学人教版教材
人教版二年级数学上册知识点汇总第一单元长度单位一、米和厘米1、测量物体的长度时,要用统一的标准去测量
【调研报告】 日期:2020-11-08
-
党支部1-12月全年主题党日活动计划表
2022年党支部主题党日活动计划表序号活动时间活动方式活动内容12022年1月专题学习研讨集中观看2022年新年贺词,积极开展学习研讨交流。组织生活会组织党员认真对照党章...
【活动总结】 日期:2022-10-14
-
2022年2月份主题党日活动记录5篇
2022年2月份主题党日活动记录5篇2022年2月份主题党日活动记录篇1尊敬的党组织:在今年的开学初,本人积极参加教研室组织的教研活动,在学校教研员的指
【活动总结】 日期:2022-08-12
-
2023年平安校园建设方案13篇
平安校园建设方案“平安校园”创建工作,我们幼儿园全体教职员工一直把它当作头等大事来抓。领导高度重视,以“平安校园”创建活动为抓手,建立和规范校园安全工作机制
【规章制度】 日期:2023-11-02
-
医院最佳主题党日活动11篇
医院最佳主题党日活动11篇医院最佳主题党日活动篇1 医院最佳主题党日活动篇2为隆重纪念中国共产党成立100周年,进一步巩固党的群众路线教育实践活动成果,切实
【活动总结】 日期:2022-10-29
-
主题党日活动记录202210篇
主题党日活动记录202210篇主题党日活动记录2022篇12021年是中国共产党成立100周年,为广泛开展爱国主义宣传教育,铭记党的历史,讴歌党的光辉历程,
【活动总结】 日期:2022-08-02
-
正式的晚宴邀请函 公司晚宴邀请函
尊敬的先生 女士: 我公司谨定于xxxx年xx月xx日xx:xx在xxxx店隆重举行xx市xx届xxxx晚宴(宴会地址:xx区xx路xxxx) 敬请届时光临!xxxxxx集团股份有限公司xxxx有限公司敬邀xxxx年xx月xx日
【简历资料】 日期:2019-08-03
-
一年级新学期目标简短_一年级学生新学期打算
新学期到了,我是一年级下册的小学生了。 上课的时候,我要认真学习,不做小动作,认真听讲。我要认真学习,天天向上,努力学习,耳朵要听老师讲课,眼睛要瞪得大大的看老...
【简历资料】 日期:2019-10-26
-
[信访复查复核制度作用探讨]信访复查复核有用吗
作为我国特有的一项制度,信访制度的出现并长期存在不是偶然的,虽然一些法学专家认为信访制度具有“人治”
【职场指南】 日期:2020-02-16
-
[党员干部2019年主题教育个人问题检视清单及整改措施2篇] 党员干部
2019年主题教育问题检视清单及整改措施根据主题教育领导小组办公室《关于认真做好主题教育检视问题整改
【求职简历】 日期:2019-11-08
-
网络维护工作内容_(精华)国家开放大学电大专科《网络系统管理与维护》形考任务1答案
国家开放大学电大专科《网络系统管理与维护》形考任务1答案形考任务1理解上网行为管理软件的功能【实训目
【职场指南】 日期:2020-07-17
-
入少先队员改正的缺点有哪些_少先队申请书
敬爱的少先队组织:我们是共产主义接班人,继承革命先辈的光荣传统,爱祖国,爱人民,鲜艳的红领巾飘扬在前胸 我叫xx,是一年级(x)班的小学生。每当听到这首...
【简历资料】 日期:2019-07-28
-
党委会与局长办公会的区别_局长办公会制度
为进一步加强xxx局工作的规范化、制度化建设,提高行政效能,规范议事程序,特制定本制度。一、会议形式1、局长办公会议由局长、副局长参加。由局长召集和主持。根据工作需要...
【求职简历】 日期:2019-07-30
-
学生会组织部部长竞选稿5篇
学生会组织部部长竞选稿以“三制”为统领推进农村党的建设中共**市委组织部近年来,**市认真落实中央、省和徐州市委的部署,积极适应发展要求,从加强领导体制、运
【求职简历】 日期:2023-11-06
-
如何凝心聚力谋发展【坚定信心谋发展凝心聚力促跨越】
当前,清河正处于在苏北实现赶超跨越基础上全面腾飞的战略机遇期,处于在全市率先实现全面小康基础上率先实
【简历资料】 日期:2020-03-17
-
《铁拳砸碎“黑警伞”》警示教育片观后感
影片深刻剖析了广西北海市公安局海西派出所原所长张枭杰蜕变堕落的轨迹。观看警示教育片后,做为一名党员教
【简历资料】 日期:2020-08-17
-
【苏教版语文三年级上册第三单元第8课《蒲公英》同步练习A卷】
苏教版语文三年级上册第三单元第8课《蒲公英》同步练习A卷姓名:________班级:________
【汇报体会】 日期:2020-09-09
-
煤化工公司党委副书记三严三实征文|汇能煤化工
天津港“8 12”危化品仓库特别重大火灾爆炸事故损失惨重,举国震惊。习近平总书记关于事故调查追责的“
【汇报体会】 日期:2020-04-10
-
党员一对一谈心谈话10篇4篇
党员一对一谈心谈话10篇4篇党员一对一谈心谈话10篇篇1谈心谈话人:**谈心谈话对象:**
【其他范文】 日期:2022-12-13
-
关键节点召开的一次十分重要的会议——学习党的十九届五中全会精神
在中华民族复兴的征程上,五中全会恰是一个承前启后、继往开来的时间节点,一头接续即将挥就的百年史诗,一
【汇报体会】 日期:2020-12-01
-
股权转让程序_股权转让合同样本
关于股权转让一般程序一、召开公司股东大会,研究股权出售和收购股权的可行性,分析出售和收购股权的目的是
【导游词】 日期:2020-09-19
-
2023年幼儿园学习雷锋日活动方案8篇
幼儿园学习雷锋日活动方案为了响应全国各地的学习雷锋活动,激发小学生的热爱祖国、热爱集体、热爱劳动、助人为乐的良好道德情操,在**年3月5日下午3时,我校组织
【礼仪】 日期:2023-10-23
-
2022年全县乡村振兴战略实施情况汇报(2022年)
尊敬的,各位领导:大家下午好!根据会议要求,下面,我就实施乡村振兴战略工作开展情况,向各位领导作一简要汇报。近年来,始终高举***新时代中国特色社会主义思想伟大旗帜,...
【其他范文】 日期:2022-11-07
-
2023年度关于全市城乡房屋安全隐患专项排查整治督导工作调研报告(2023年)
按照**省城乡房屋安全隐患排查整治工作领导小组办公室统一安排部署,***年*月**—**日对**市及下辖县(市、区)城乡房屋安全隐患排查整治工作组织机构建立及运行情况进行了督...
【其他范文】 日期:2023-09-23
-
经验材料XX单位“四个聚焦”推动党史学习教育走深走实
下面是小编为大家整理的经验材料XX单位“四个聚焦”推动党史学习教育走深走实
【其他范文】 日期:2022-09-15
-
教师师德师风自查自纠反思心得|师德师风自我评价
教师师德师风自查自纠反思心得通过《教师职业道德》学习使我受益匪浅,学高为师,德高为范 师德是教师最重
【口号大全】 日期:2020-09-02
-
军转座谈会交流发言4篇
军转座谈会交流发言4篇军转座谈会交流发言篇1大家好,我叫贺丽,2015届选调生,来自康定市委组织部,现在省委编办跟班学习。今天,非常荣幸向大家汇报我的学习收
【发言稿】 日期:2022-10-27
-
12岁生日小寿星发言4篇
12岁生日小寿星发言4篇12岁生日小寿星发言篇1各位来宾、各位朋友:大家好!今天,我们欢聚在这里,共同庆祝**十二周岁生日。首先,我代表**的父母以
【发言稿】 日期:2022-07-31
-
廉政大会总结发言稿7篇
廉政大会总结发言稿7篇廉政大会总结发言稿篇1各位领导,同志们:根据会议安排,我就党风廉政建设工作做表态发言,不妥之处,请批评指正。一、提高认识,切实
【发言稿】 日期:2022-10-30
-
我最敬佩的人开头_我敬佩的一个人作文20篇2020年
我敬佩的一个人作文20篇 我敬佩的一个人作文一): 我身边有很多值得我们敬佩的人,但我最敬佩的一
【发言稿】 日期:2020-11-10
-
纪委书记工作表态发言4篇
纪委书记工作表态发言4篇纪委书记工作表态发言篇1在镇党委政府正确领导下,在全村干部和群众的共同努力下,紧紧围绕建设社会主义新农村工作为重点,尽职尽责,与时俱
【发言稿】 日期:2022-09-30
-
党员教育培训总结交流发言12篇
党员教育培训总结交流发言12篇党员教育培训总结交流发言篇1根据市委组织部《关于开展我市〈20XX
【发言稿】 日期:2022-12-19
-
[钻井队队长(副队长、指导员)岗位HSE应知应会试题(1863)]
钻井队队长(副队长、指导员)岗位HSE应知应会试题(判断题:771;单选题:626;多选题:466)
【贺词】 日期:2020-09-23
-
话剧《家》剧本 话剧剧本:爱的空间
找文章到更多原创-(http: www damishu cn)人物介绍:刘伟,男,32岁,某购物广
【演讲稿】 日期:2020-01-21
-
五言绝句大全500首古诗_五言绝句144首
五言绝句144首 五言绝句(一): 1《春夜喜雨》唐朝·杜甫 好雨知时节,当春乃发生。随风潜入
【祝福语】 日期:2021-03-13
-
税务局党史学习教育专题民主生活会个人发言材料4篇
税务局党史学习教育专题民主生活会个人发言材料4篇税务局党史学习教育专题民主生活会个人发言材料篇1
【发言稿】 日期:2022-12-07
-
2023年中国行政区划调整方案(设想优秀3篇
中国行政区划调整方案(设想优秀民政部第二次行政区划研讨会会议内容一、缩省的意义与原则1.意义1)利于减少中间层次中国行政区划层级之多为世界之最,既使管理成本
【周公解梦】 日期:2024-02-20
-
2023年和儿媳妇在一起幸福的句子3篇
和儿媳妇在一起幸福的句子1、假如人生不曾相遇,我还是那个我,偶尔做做梦,然后,开始日复一日的奔波,淹没在这喧嚣的城市里。我不会了解,这个世界还有这样的一个你
【格言】 日期:2023-11-10
-
XX老干局推进党建与业务深度融合发展工作情况调研报告:党建调研报告
XX老干局推进党建与业务深度融合 发展工作情况的调研报告 党建工作与业务工作融合发展始终是一个充满生
【成语大全】 日期:2020-08-28
-
中国共产党第三代中央领导集体的卓越贡献
中国共产党第三代中央领导集体的卓越贡献 --------------继往开来铸就辉煌 【摘要】改
【成语大全】 日期:2020-03-20
-
信息技术2.0能力点 [全国中小学教师信息技术应用能力提升工程试题题库及参考答案「精编」]
全国中小学教师信息技术应用能力提升工程试题题库及答案(复习资料)一、判断题题库(A为正确,B为错误)
【格言】 日期:2020-11-17
-
党建工作运行机制内容有哪些_构建基层党建工作运行机制探讨
党的基层组织是党在社会基层组织中的战斗堡垒,是党的全部工作和战斗力的基础。加强和改进县级以下各类党的
【经典阅读】 日期:2020-01-22
-
电大现代教育原理_最新国家开放大学电大《现代教育原理》形考任务2试题及答案
最新国家开放大学电大《现代教育原理》形考任务2试题及答案形考任务二一、多项选择题(共17道试题,共3
【成语大全】 日期:2020-07-20
-
集合推理_七,推理与集合
七推理与集合1 期中考试数学成绩出来了,三个好朋友分别考了88分,92分,95分。他们分别考了多少分
【名人名言】 日期:2020-12-18
-
基层党务工作基本内容_党建基本工作有哪些
党建基本工作有哪些(一) 基层党建工作包括哪些内容 选择了大学生村官这条路,你就与农村基层党
【名人名言】 日期:2020-08-06
-
【2020-2021学年高一英语外研版(2019)选择性必修第一册Unit3Faster,higher,strongerSectionⅠ导学讲义】
Unit3 Faster,higher,stronger背景导学MichaelJordan—Head
【歇后语】 日期:2021-04-19
-
关于三农工作重要论述心得体会3篇
关于三农工作重要论述心得体会3篇关于三农工作重要论述心得体会篇1习近平总书记指出:“建设现代化国家离不开农业农村现代化,要继续巩固脱贫攻坚成果,扎实推进乡村
【学习心得体会】 日期:2022-10-29
-
【福生庄隧道坍塌处理方案】 福生庄隧道在哪里
(呼和浩特铁路局大包电气化改造工程指挥部,内蒙古呼和浩特010050)摘要:文章介绍了福生庄隧道
【学习心得体会】 日期:2020-03-05
-
五个一百工程阅读心得体会13篇
五个一百工程阅读心得体会13篇五个一百工程阅读心得体会篇1凡益之道,与时偕行。在全国网络安全和信
【学习心得体会】 日期:2022-12-07
-
城管系统警示教育心得体会9篇
城管系统警示教育心得体会9篇城管系统警示教育心得体会篇1各党支部要召开多种形式的庆七一座谈会,组织广大党员进行座谈,回顾党的光辉历程,畅谈党的丰功伟绩,
【学习心得体会】 日期:2022-10-09
-
发展对象培训主要内容10篇
发展对象培训主要内容10篇发展对象培训主要内容篇1怀着无比激动的心情,我有幸参加了__新区区委党校20__年第四期(区级机关)党员发展对象培训班。这次的学习
【培训心得体会】 日期:2022-09-24
-
凝聚三种力量发展全过程人民民主心得体会12篇
凝聚三种力量发展全过程人民民主心得体会12篇凝聚三种力量发展全过程人民民主心得体会篇1新民主主义革命是指在帝国主义和无产阶级革命时代,殖民地半殖民地国家中的
【学习心得体会】 日期:2022-08-31
-
2022年全国检察长会议心得7篇
2022年全国检察长会议心得7篇2022年全国检察长会议心得篇1眼睛是心灵上的窗户,我们通过眼睛才能看到世间万物,才能看到眼前这美好的一切。拥有一双明亮的眼
【学习心得体会】 日期:2022-10-31
-
在街道深化作风建设推动高质量发展走在前列动员会上讲话
在2023年街道深化作风建设推动高质量发展走在前列动员会上的讲话同志们:今天我们召开“街道深化作风建设推动高质量发展走在前列动员会”,这次会议是街道三季度召开的第一场...
【军训心得体会】 日期:2024-03-17
-
全面从严治党的心得体会800字7篇
全面从严治党的心得体会800字7篇全面从严治党的心得体会800字篇1中国特色社会主义是我们党领导
【学习心得体会】 日期:2022-12-14
-
矫正心得体会6篇
矫正心得体会6篇矫正心得体会篇1今天,是自己出监后第一次参加阳光中途之家组织的社区矫正方面的教育
【学习心得体会】 日期:2022-12-24
-
2024年主题教育民主生活会批评与自我批评意见(38条)(范文推荐)
2023年主题教育民主生活会六个方面个人检视、相互批评意见:1 理论学习系统性不强。学习习近平新时代中国特色社会主义思想不深不透,泛泛而学的时候多,深学细照的时候少,特...
【邓小平理论】 日期:2024-03-19
-
2024年交流发言:强化思想理论武装,增强奋进力量(完整)
习近平总书记指出:“一个民族要走在时代前列,就一刻不能没有理论思维,一刻不能没有思想指引。”党的十八大以来,伴随着新时代中国特色社会主义思想在实践中形成发展的历程...
【三个代表】 日期:2024-03-19
-
2024年度镇年度县乡人大代表述职评议活动总结
xx镇20xx年县乡人大代表述职评议活动总结为响应县级人大常委会关于开展县乡两级人大代表述职评议活动,进一步激发代表履职活力,加强代表与人民群众的联系,提高依法履职水平...
【马克思主义】 日期:2024-03-19
-
“千万工程”经验学习体会(研讨材料)
“千万工程”是总书记在浙江工作时亲自谋划、亲自部署、亲自推动的一项重大决策,也是习近平新时代中国特色社会主义思想在之江大地的生动实践。20年来,“千万工程”先后经历...
【三个代表】 日期:2024-03-19
-
2024年在市政协机关工作总结会议上讲话
同志们:刚才,XX同志对市政协机关20XX年工作进行了很好的总结,很精炼,很到位,可以感受到去年机关工作确实可圈可点。XX同志宣读了表彰决定,机关优秀人员代表、先进集体代...
【邓小平理论】 日期:2024-03-18
-
在全区防汛防涝动员暨河长制工作推进会上讲话提纲【完整版】
区长,各位领导,同志们:汛期已经来临,我区城区防涝工作面临强大考验,形势不容乐观。年初,区城区防涝排渍指挥部已经召开专题调度会,修订完善应急预案,建立网格化管理机...
【马克思主义】 日期:2024-03-18
-
2024年镇作风整治工作实施方案(完整文档)
XX镇作风整治工作实施方案为深入贯彻落实党的二十大精神及省市区委深化作风建设的最新要求,突出重点推进干部效能提升,坚持不懈推动作风整治工作纵深发展,根据《关于印发《2...
【毛泽东思想】 日期:2024-03-18
-
2024市优化法治化营商环境规范涉企行政执法实施方案【优秀范文】
xx市优化法治化营商环境规范涉企行政执法实施方案为持续优化法治化营商环境,激发市场主体活力和社会创造力,规范行政执法行为,创新行政执法方式,提升行政执法质效,着力解...
【毛泽东思想】 日期:2024-03-18
-
2024年度关于开展新一轮思想状况摸底排查工作通知(完整)
关于开展新一轮思想状况摸底排查工作的通知为深入贯彻落实关于各地开展干部职工思想状况大摸底大排查情况上的批示要求和改革教育第二次调度会议精神,有针对性做好队伍教育管...
【三个代表】 日期:2024-03-18
-
2024年公路养护中心主任典型事迹材料(完整文档)
“中心的工作就是心中的事业”——公路养护中心主任典型事迹材料**,男,1976年6月出生,1993年参加工作,2000年4月调入**区交通运输局工作,大学本科学历,中共党员,现任**...
【马克思主义】 日期:2024-03-17